MSA-600
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations auf Tests auf Wafer-Level.
Highlights:
- All-in-one optische Messstation für Mikrostrukturen
- Wirkliche Echtzeit-Messungen der Dynamik (keine Nachbearbeitung erforderlich)
- Unerreichte sub-pm Wegauflösung
- Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations
Häufigste Anwendungsgebiete:
- Mikrosystem-Technik
- Wissenschaft & Forschung
