MSA-600

Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations auf Tests auf Wafer-Level.

Highlights:

  • All-in-one optische Messstation für Mikrostrukturen
  • Wirkliche Echtzeit-Messungen der Dynamik (keine Nachbearbeitung erforderlich)
  • Unerreichte sub-pm Wegauflösung
  • Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations

Häufigste Anwendungsgebiete:

  • Mikrosystem-Technik
  • Wissenschaft & Forschung

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